烧结真空炉克服了硅烟气体在高温真空状态下容易与碳纤维发生反应，碳纤维制成的保温套管失去保温效果的问题，其包括圆柱形炉体，炉体由外向内设有炉套和隔热套，炉体与炉套之间有隔热层。

　　在保温套管的内周面设有石墨套管，使保温套管不直接面对硅粉气体，烧结材料支撑架与石墨套筒固定连接，防止烧结材料支撑架穿过隔板，本实用新型有效地保护了保温套，防止其失去保温效果。

　　作为改进，石墨套管、烧结材料支撑架和电加热体的表面分别涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼层，石墨套管的作用是为烧结材料支撑架提供支撑，并将硅气与隔热套管隔离，但是，在高温真空条件下，硅和石墨也会发生反应，氮化硼层是为了进一步阻止硅气与石墨套筒的反应。

　　烧结材料支撑架和电加热体可以提高部件的使用寿命，作为进一步的改进，在炉体外部设置了一个可以提供循环冷却介质的空气泵，该空气泵与隔热材料连通。